บทนำการจัดหาอากาศบริสุทธิ์ของท่อส่งก๊าซไนโตรเจน

ต้องส่งท่อไนโตรเจนสะอาดที่มีความบริสุทธิ์สูงและมีความบริสุทธิ์สูงทั้งหมดไปยังเครื่องมือ (POU) ผ่านท่อเพื่อให้บรรลุข้อกำหนดด้านคุณภาพของเครื่องมือ ในกรณีของตัวบ่งชี้ทางออกของก๊าซ จำเป็นต้องให้ความสำคัญกับระบบท่อ การเลือกใช้วัสดุ และคุณภาพการก่อสร้างมากขึ้นนอกจากความแม่นยำของก๊าซหรืออุปกรณ์การทำให้บริสุทธิ์แล้ว ยังได้รับผลกระทบจากหลายปัจจัยของระบบท่อส่งก๊าซเป็นอย่างมากดังนั้นการเลือกท่อควรเป็นไปตามหลักการอุตสาหกรรมที่เกี่ยวข้องและระบุวัสดุท่อ

วัสดุของไปป์ไลน์ไนโตรเจนสะอาดถูกเลือกตามความต้องการในการใช้งาน และโดยทั่วไป 316L BA จะถูกใช้เมื่อสัมผัสกับชิปแต่จะไม่มีส่วนร่วมในกระบวนการทำปฏิกิริยาความหยาบผิวในท่อเป็นมาตรฐานในการวัดคุณภาพของท่อความหยาบที่ต่ำลง ความเป็นไปได้ในการลำเลียงอนุภาคจะลดลงอย่างมาก

ท่อไนโตรเจนที่สะอาดสามารถดูดซับก๊าซได้ประมาณ 200 กรัมต่อตันระหว่างวัสดุถลุงสแตนเลสเหล็กกล้าไร้สนิมได้รับการประมวลผล ไม่เพียงแต่พื้นผิวที่เป็นกาว แต่ยังรวมถึงก๊าซจำนวนหนึ่งที่ได้รับผลกระทบจากโครงตาข่ายโลหะด้วยเมื่อมีการไหลของอากาศในท่อ ก๊าซส่วนนี้ที่อยู่ในโลหะจะกลับเข้าสู่กระแสลมอีกครั้ง และทำให้ก๊าซบริสุทธิ์ปนเปื้อนเมื่อกระแสน้ำไหลเข้าของท่อไม่ไหลต่อเนื่อง

เมื่อท่อถูกดูดซับภายใต้แรงดัน ก๊าซจะถูกดูดซับ ก๊าซจะหยุดทำงาน และก๊าซที่ดูดซับโดยท่อได้สร้างการวิเคราะห์แบบสเต็ปดาวน์ และก๊าซที่แยกวิเคราะห์ยังถูกใช้เป็นสารเจือปนในก๊าซบริสุทธิ์ในท่อในเวลาเดียวกัน การดูดซับ วิเคราะห์ เพื่อให้พื้นผิวของท่อยังผลิตผงบางชนิด ซึ่งเป็นก๊าซบริสุทธิ์ในท่อคุณลักษณะของท่อส่งก๊าซสะอาดนี้มีความสำคัญอย่างยิ่ง เพื่อให้มั่นใจในความบริสุทธิ์ของก๊าซที่ส่ง ไม่เพียงแต่ต้องการความเรียบของพื้นผิวด้านในที่สูงมาก แต่ยังมีลักษณะทนต่อการสึกหรอสูงด้วย

เมื่อก๊าซมีการกัดกร่อนรุนแรง จำเป็นต้องใช้ท่อสแตนเลสที่ทนต่อการกัดกร่อนมิฉะนั้น ท่อของท่อส่งก๊าซที่สะอาดจะสร้างจุดการกัดกร่อนอันเนื่องมาจากการกัดกร่อน และจะมีการลอกโลหะขนาดใหญ่หรือการเจาะทะลุ ซึ่งจะทำให้เกิดมลพิษ ก๊าซบริสุทธิ์ด้วยก๊าซบริสุทธิ์