ความเชี่ยวชาญอย่างลึกซึ้งในระบบแก๊สพิเศษสําหรับอุปกรณ์เตาอบครึ่งนํา

ในฐานะที่เป็นรากฐานสำคัญของภาคเทคโนโลยีขั้นสูง อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ต้องพึ่งพาอุปกรณ์ที่มีความแม่นยำ — เตาหลอมสุญญากาศสำหรับการเติบโตของผลึก, เตา CVI, และเตาเคลือบด้วยการสะสมไอของ SiC/TaC มีความสำคัญอย่างยิ่งต่อการเตรียมวัสดุและการบรรจุภัณฑ์อุปกรณ์ ความเสถียรและความแม่นยำของระบบเหล่านี้ขึ้นอยู่กับการส่งก๊าซพิเศษที่มีความบริสุทธิ์สูงเป็นอย่างมาก Shenzhen Wofly Technology Co., Ltd. ผู้ให้บริการวิศวกรรมระบบประยุกต์ใช้ก๊าซแบบครบวงจร นำเสนอโซลูชันการกระจายและจ่ายก๊าซที่ปรับแต่งให้เหมาะกับเตาแต่ละประเภท

01 เตาหลอมสุญญากาศสำหรับการเติบโตของผลึก

การเติบโตของผลึกต้องการความบริสุทธิ์ของก๊าซที่ยอดเยี่ยม — แม้แต่สิ่งเจือปนเล็กน้อยก็อาจทำให้เกิดข้อบกพร่องได้ ระบบของ Wofly ใช้ท่อสแตนเลส 316L ที่หลอมด้วยสุญญากาศสองชั้น (เกรด EP/BA, Ra ≤ 10 μin) เพื่อลดการดูดซับอนุภาค การผลิตทั้งหมดดำเนินการในสภาพแวดล้อมห้องคลีนรูมโดยบุคลากรที่สวมชุดคลีนรูมเต็มรูปแบบ การตัดท่อใช้เครื่องตัดสแตนเลสโดยเฉพาะพร้อมการลบคม การลบมุม และการไล่ก๊าซไนโตรเจนที่มีความบริสุทธิ์สูง การเชื่อม TIG แบบออโตเจนแบบวงโคจรภายใต้การป้องกันด้วยอาร์กอนช่วยให้มั่นใจได้ว่าข้อต่อจะไม่มีการรั่วไหลและไม่มีการปนเปื้อน ตัวควบคุมการไหลของมวลที่มีความแม่นยำสูงพร้อมการควบคุมแรงดันอัจฉริยะและหน่วยทำให้บริสุทธิ์ก๊าซในตัวช่วยรักษาความบริสุทธิ์สูงพิเศษที่จำเป็นสำหรับการเติบโตของผลึกที่สม่ำเสมอ

02 เตาเคลือบด้วยการสะสมไอ CVI

เตา CVI ที่ทำงานที่อุณหภูมิสูงถึง 2,100°C ต้องการความเสถียรและความสม่ำเสมอของการไหลของก๊าซที่ยอดเยี่ยม Wofly ออกแบบระบบท่อที่ทนต่อการกัดกร่อนด้วยเหล็กกล้าคาร์บอน (เคลือบผง) หรือโครงรองรับสแตนเลส — ตัดด้วยเครื่องจักร ลบมุม และผ่านการบำบัดป้องกันการกัดกร่อน การจัดเส้นทางการไหลของก๊าซในตัวช่วยลดระยะทางการส่งและลดเวลาการคงอยู่ ในขณะที่ระบบควบคุมการไหลที่มีความแม่นยำจะควบคุมสารตั้งต้น เช่น โพรพิลีนและมีเทนได้อย่างแม่นยำเพื่อให้ตรงกับเส้นโค้งกระบวนการ CVI ที่ซับซ้อน ซีลทั้งหมดใช้ปะเก็นสแตนเลสหรือนิกเกิล — ห้ามใช้ปะเก็นที่ไม่ใช่โลหะโดยเด็ดขาด — เพื่อขจัดความเสี่ยงการรั่วไหลที่อุณหภูมิสูง

03 เตาเคลือบด้วยการสะสมไอ SiC & TaC

เตาเหล่านี้ทำงานที่อุณหภูมิ 1,500–2,000°C ด้วยก๊าซสารตั้งต้นที่มีฤทธิ์รุนแรง เช่น แฮฟเนียมคลอไรด์, แทนทาลัมเพนตะคลอไรด์ และมีเทน Wofly ใช้ท่อสแตนเลส 316L เกรด EP พร้อมข้อต่อแบบซีลหน้าโลหะ VCR เพื่อขจัดพื้นที่อับและช่วยให้ทำความสะอาดด้วยการไล่ก๊าซได้อย่างทั่วถึง หน่วยทำให้เป็นไอแบบพิเศษจัดการสารตั้งต้นที่เป็นผง (TaCl₅, HfCl₄) ด้วยการควบคุมอัตราส่วนอัจฉริยะเพื่อให้การไหลของมีเทน/ไฮโดรเจนตรงกันอย่างแม่นยำ (เช่น CH₄ 180 มล./นาที, H₂ 900 มล./นาที) ระบบตรวจจับก๊าซ GDS ในตัวพร้อมการเชื่อมโยงการตอบสนองฉุกเฉินให้การตรวจสอบความปลอดภัยแบบเรียลไทม์

บริการตลอดวงจรชีวิตแบบครบวงจร บริการของ Wofly ครอบคลุมตลอดวงจรโครงการทั้งหมด: การสำรวจพื้นที่และการวิเคราะห์กระบวนการ, การออกแบบระบบที่กำหนดเอง, การผลิตชิ้นส่วนสำเร็จรูป (ส่วนเชื่อมสูงสุด 12 ม., รองรับทุก 3 ม. ระหว่างการขนส่ง), การติดตั้ง ณ สถานที่, การทดสอบแรงดัน/การรั่วไหล/อนุภาค/ความบริสุทธิ์, และการสอบเทียบและบำรุงรักษาอย่างต่อเนื่อง ทุกระบบสร้างขึ้นตามมาตรฐานอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์

เมื่อเทคโนโลยีเซมิคอนดักเตอร์ก้าวหน้า Wofly ยังคงมุ่งมั่นในการนำเสนอโซลูชันก๊าซพิเศษที่ชาญฉลาดและมีความแม่นยำสูง — ช่วยให้ลูกค้าทั่วโลกบรรลุการทำงานของเตาหลอมที่ปลอดภัย เชื่อถือได้มากขึ้น และมีประสิทธิภาพสูงขึ้น