ระบบเติมก๊าซ: หน้าที่ การจำแนกประเภท และอุปกรณ์หลัก

ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ แบตเตอรี่ลิเธียม และจอแสดงผลแบบออปโตอิเล็กทรอนิกส์ การจัดหาก๊าซพิเศษที่เสถียรเป็นรากฐานของการผลิตอย่างต่อเนื่อง ระบบเติมก๊าซ ซึ่งเป็นศูนย์กลางที่สำคัญระหว่างแหล่งก๊าซและจุดใช้งาน เป็นตัวกำหนดความปลอดภัย ความต่อเนื่อง และความบริสุทธิ์โดยตรง

ฟังก์ชันหลัก

ระบบเติมก๊าซจะบรรจุก๊าซอุตสาหกรรมลงในถังหรือภาชนะที่แรงดัน อุณหภูมิ และความบริสุทธิ์ที่กำหนด ข้อกำหนดสี่ประการเป็นตัวขับเคลื่อนการออกแบบทุกอย่าง:

ระบบจำแนกประเภทก๊าซ

อ้างอิงจากGB16163-1996ก๊าซอุตสาหกรรมจะถูกจำแนกตามสถานะทางกายภาพและคุณสมบัติทางเคมี

ก๊าซปริมาณมาก — ก๊าซทั่วไปปริมาณมาก (O₂, N₂, Ar, H₂, CO₂, C₂H₂):

ก๊าซพิเศษ — ก๊าซความบริสุทธิ์สูงปริมาณน้อยสำหรับอิเล็กทรอนิกส์และสารเคมีพิเศษ:

ก๊าซเหลวแรงดันสูง:

• ไวไฟ ไม่เป็นพิษ / ไพโรฟอริก เป็นพิษ / ไม่เสถียรทางความร้อน

ก๊าซเหลวแรงดันต่ำ ( > 70°C):

• กรดกัดกร่อน (ฮาไลด์) / ด่างกัดกร่อน (แอมโมเนีย) / ไม่เสถียรทางความร้อน

โมดูลระบบหกโมดูล

อุปกรณ์หลัก

ท่อร่วมชาร์จ— หน่วยปฏิบัติการกลาง เหล็กกล้าไร้สนิมขัดเงาเกรด EP พร้อมวาล์วแยกและขั้วต่อเฉพาะ ช่วยให้สามารถเติมถังหลายถังพร้อมกันได้ ท่อร่วมก๊าซเฉพาะ: ออกซิเจน ไฮโดรเจน อาร์กอน และก๊าซพิเศษแต่ละชนิดใช้วัสดุและซีลที่เข้ากัน

ระบบท่อร่วมก๊าซ — รวบรวมกลุ่มถังหลายกลุ่มพร้อมการลดแรงดันหลัก/รอง ช่วยให้สามารถจ่ายก๊าซได้อย่างต่อเนื่องผ่านการสลับแบงค์อัตโนมัติ ซึ่งจำเป็นสำหรับการเติมก๊าซปริมาณมากอย่างต่อเนื่อง

กลุ่มวาล์วลดแรงดัน — ลดแรงดันก๊าซต้นทางแรงดันสูงให้เป็นแรงดันเติมเป้าหมาย สำหรับก๊าซพิเศษตัวลดแรงดันชนิดไดอะแฟรมเป็นสิ่งจำเป็น: ห้องที่ปิดผนึกด้วยไดอะแฟรมช่วยขจัดสิ่งปนเปื้อนภายใน รักษาความบริสุทธิ์ระดับ ppb ซึ่งจำเป็นสำหรับแอปพลิเคชันเกรดเซมิคอนดักเตอร์