อุตสาหกรรมก๊าซในอุตสาหกรรมครึ่งนํา

การใช้ก๊าซในอุตสาหกรรมครึ่งขัดย้อนกลับไปสู่ช่วงต้นปี 1950 ถึงปี 1960ก๊าซถูกใช้เป็นหลักในการทําความสะอาดและป้องกันวัสดุครึ่งประจุ เพื่อรับรองความบริสุทธิ์และคุณภาพของมันในหมู่ก๊าซที่ใช้กันทั่วไปคือ ไนโตรเจนและไฮโดรเจน

เมื่อเทคโนโลยีครึ่งตัวนําพัฒนาและกระบวนการผลิตยังคงดีขึ้น ความต้องการของก๊าซเพิ่มขึ้น ในปี 1970 การพัฒนาเทคโนโลยีการผลิตครึ่งตัวนําการใช้ก๊าซในกระบวนการสําคัญ เช่น การถักและการฝากของแผ่นบาง เพิ่มขึ้นค่อยๆ, และก๊าซฟลอไรด์ (เช่น SF6) และออกซิเจนกลายเป็นก๊าซการกวาดและการฝังที่ใช้กันทั่วไปในปี ค.ศ. 1980 มีการเพิ่มความต้องการต่อก๊าซเพิ่มขึ้นอีกด้วย ด้วยการพัฒนาวงจรบูรณาการ และการเพิ่มความต้องการต่อก๊าซไฮโดรเจนถูกใช้อย่างแพร่หลายในกระบวนการการผลิต รวมถึงการเผาผลาญไฮโดรเจนและการฝากน้ํามันไฮโดรเจนความต้องการสําหรับก๊าซความบริสุทธิ์สูงและก๊าซเฉพาะเพิ่มขึ้น เนื่องจากขนาดของอุปกรณ์ครึ่งประสาทยังคงลดลงและกระบวนการใหม่ถูกนํามาใช้ตัวอย่างเช่น การใช้การฉลากฉลากฉลาก Ultraviolet (EUV) ต้องการการใช้ก๊าซความบริสุทธิ์สูงสุด เช่น ไนโตรเจนและไฮโดรเจน

ก๊าซครึ่งประสาทยังคงเพิ่มขึ้น กับการพัฒนาของผลิตภัณฑ์ที่เกี่ยวข้องดังนั้นผลิตภัณฑ์ที่ใช้ในการลดความอัดของก๊าซ, ผลิตภัณฑ์ตรวจจับก๊าซและผลิตภัณฑ์ป้องกันการรั่วไหลของก๊าซได้ปรากฏขึ้น เช่น เครื่องควบคุมความดัน, วาล์วก๊าซ, เครื่องวัดความดันก๊าซ, เครื่องตรวจจับการรั่วไหลของก๊าซ, ฯลฯ และบทบาทของพวกเขาคือดังนี้:

เครื่องควบคุมความดัน: เครื่องควบคุมความดัน เป็นอุปกรณ์ที่ใช้ในการควบคุมความดันของก๊าซ โดยปกติประกอบด้วยวาล์วควบคุมและเซ็นเซอร์ความดันเครื่องควบคุมความดันใช้ก๊าซแรงดันสูงเข้าและทําให้ความดันของก๊าซออกมั่นคงโดยการปรับคลองเพื่อตอบสนองความต้องการการใช้งานเฉพาะเจาะจงเครื่องควบคุมความดันถูกใช้อย่างแพร่หลายในสาขาต่างๆ เช่น อุตสาหกรรม, การผลิต และห้องปฏิบัติการ,เพื่อให้มั่นคงและปลอดภัยในการจําหน่ายก๊าซ.

วาล์วแก๊ส:วาล์วแก๊สใช้ในการควบคุมการไหลของก๊าซและปิดช่องทางก๊าซ โดยปกติจะมีฟังก์ชันเปิด / ปิดที่เปิดหรือปิดการไหลของก๊าซรวมถึงวาล์ฟมือ, วาล์วไฟฟ้าและวาล์วปนูเมติก พวกเขาถูกใช้อย่างแพร่หลายในระบบก๊าซเพื่อควบคุมการไหล, ความดันและความเร็วของก๊าซ

เครื่องวัดแรงก๊าซ:เครื่องวัดความดันแก๊ส ใช้ในการวัดระดับความดันของแก๊สพวกเขามักจะติดตั้งที่จุดสําคัญในระบบแก๊ส เพื่อติดตามการเปลี่ยนแปลงความดันและให้แน่ใจว่าพวกเขาอยู่ในขอบเขตที่ปลอดภัยเครื่องวัดความดันแก๊สถูกใช้อย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรม, การผลิตและห้องปฏิบัติการ และอุตสาหกรรมครึ่งนํา

เครื่องตรวจจับการรั่วไหลของก๊าซ:เครื่องตรวจจับการรั่วไหลของก๊าซ ใช้ในการตรวจจับการรั่วไหลในระบบก๊าซ. เครื่องตรวจจับการรั่วไหลของก๊าซและออกสัญญาณเตือนเพื่อให้มีการดําเนินการทันทีเพื่อป้องกันอุบัติเหตุการรั่วไหลเครื่องตรวจจับการรั่วไหลของก๊าซถูกใช้อย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรม, การใช้งานทางเคมี, น้ํามันและก๊าซ, และอุตสาหกรรมครึ่งประสาท