สรุป
การประชุมเทคโนโลยีแลกเปลี่ยนสุญญากาศครั้งที่ 7 ซึ่งมีศูนย์กลางอยู่ที่หัวข้อหลัก “นวัตกรรมในเทคโนโลยีการเคลือบสุญญากาศและวิศวกรรมพื้นผิว” ได้เปิดฉากขึ้นอย่างเป็นทางการในวันนี้ที่เมืองเซินเจิ้น
โดยมีหลักการหลักคือ “การทำลายอุปสรรคทางเทคนิคและการส่งเสริมการทำงานร่วมกันในอุตสาหกรรม” การประชุมครั้งนี้มีการแลกเปลี่ยนในหัวข้อหลักสามหัวข้อ ได้แก่ Atomic Layer Deposition (ALD), Chemical Vapor Deposition (CVD) และ DLC/Ta-C Carbon-Based Coatings
การประชุมครั้งนี้ได้รวบรวมผู้เชี่ยวชาญระดับนานาชาติจากสถาบันการศึกษา อุตสาหกรรม และสถาบันวิจัย พร้อมด้วยผู้นำด้านเทคนิคจากองค์กรชั้นนำ การประชุมจะเจาะลึกถึงความก้าวหน้าล่าสุดในเทคโนโลยีหลัก เส้นทางสำหรับการนำไปใช้ในอุตสาหกรรม และความท้าทายหลักของอุตสาหกรรม โดยมีเป้าหมายเพื่อสร้างแพลตฟอร์มแบบบูรณาการสำหรับการ “แลกเปลี่ยนทางเทคนิค การจับคู่ทรัพยากร และการเปลี่ยนแปลงความสำเร็จ” เพื่อเสริมศักยภาพเทคโนโลยีสุญญากาศให้บรรลุการบูรณาการอย่างลึกซึ้งและการประยุกต์ใช้ในวงกว้างในภาคส่วนสำคัญ เช่น สารกึ่งตัวนำ พลังงานใหม่ และวัสดุขั้นสูง
1. ALD/CVD “การควบคุมความแม่นยำ” แก้ปริศนา
การเลือกวาล์วสำหรับระบบ ALD/CVD ไม่เพียงแต่ต้องเป็นไปตามข้อกำหนดพื้นฐานเท่านั้น แต่ยังต้องสอดคล้องกับรายละเอียดของกระบวนการอีกด้วย การบรรลุความก้าวหน้าจาก “ยอมรับได้สู่ระดับพรีเมียม” ในการเคลือบสุญญากาศและวิศวกรรมพื้นผิวขึ้นอยู่กับ “การควบคุมความแม่นยำในระดับไมครอน” ในกระบวนการ ALD/CVD ซึ่งความเร็วในการตอบสนองของวาล์วและความเสถียรของระบบก๊าซพิเศษเป็นตัวกำหนดโดยตรงถึงความสม่ำเสมอ ความบริสุทธิ์ และอัตราผลตอบแทนในการเคลือบ
ในกระบวนการเคลือบสุญญากาศ ประสิทธิภาพของอุปกรณ์ควบคุมของเหลวนั้นมีความสำคัญอย่างยิ่ง ผลิตภัณฑ์ของเรามีความโดดเด่นในด้านความเร็วในการตอบสนอง อัตราการรั่วไหล และความทนทานต่ออุณหภูมิ อุปกรณ์ที่มีตัววาล์วสแตนเลสเกรด 316L EP พร้อมซีล PTFE ทำให้อัตราการรั่วไหล ≤1×10⁻¹² Pa·m³/s ซึ่งเป็นไปตามข้อกำหนดของกระบวนการ ALD วาล์วแบบหลายช่องของเรา ซึ่งออกแบบมาสำหรับการใช้งานเคลือบ ALD ที่อุณหภูมิสูง ทนต่ออุณหภูมิที่สูงขึ้นในขณะที่เพิ่มประสิทธิภาพการชำระล้างเพื่อลดผลกระทบของสารตั้งต้นที่เหลืออยู่ต่อคุณภาพการเคลือบ
ตัววาล์วของเราสร้างขึ้นจากชุดประกอบวาล์วที่ทนทานต่อการกัดกร่อนซึ่งมีโลหะผสมโครเมียม-นิกเกิล-โมลิบดีนัมมากกว่า 25% กระบวนการ CVD ช่วยให้มั่นใจได้ถึงการทำงานอย่างต่อเนื่องในระยะยาวโดยไม่มีการกัดกร่อนหรือการรั่วไหล เกี่ยวกับการควบคุมอัตราการไหล ระบบควบคุมแบบเชื่อมต่อกันหลายวาล์วช่วยรักษาค่าเบี่ยงเบนของอัตราการไหลให้อยู่ภายใน ±0.2% ซึ่งเกินมาตรฐานความแม่นยำเฉลี่ยของอุตสาหกรรมที่ ±0.3% อย่างมาก สิ่งนี้ช่วยแก้ไขความท้าทายของอุตสาหกรรมได้อย่างมีประสิทธิภาพในเรื่อง “ความผันผวนของอัตราการไหลที่ทำให้เกิดการเบี่ยงเบนของความหนาของการเคลือบ”
“ความสะอาด ความเสถียร และการตรวจสอบย้อนกลับได้” ของท่อก๊าซพิเศษทำหน้าที่เป็นมาตรการป้องกันที่มองไม่เห็นสำหรับกระบวนการเคลือบสุญญากาศ
ความสะอาดของท่อ
ความสะอาดของผนังด้านในของท่อต้องได้รับการควบคุมอย่างเข้มงวด เพื่อจุดประสงค์นี้ เราได้จัดตั้งระบบการจัดการความสะอาดที่ครอบคลุมซึ่งครอบคลุมถึง “การทำความสะอาด การเชื่อม การชำระล้าง และการตรวจสอบ” ด้วยการใช้กระบวนการที่รวม “การทำความสะอาดด้วยคลื่นเสียงความถี่สูง + การชำระล้างด้วยไนโตรเจนบริสุทธิ์สูง + การบำบัดแบบพาสซิเวชั่น” ค่า Ra ของผนังด้านในของท่อจะทำได้ 0.35μm อย่างสม่ำเสมอ
การจับคู่ที่แม่นยำตามพิกัดแรงดัน
แรงดันในท่อแตกต่างกันอย่างมากในสถานการณ์การเคลือบสุญญากาศที่แตกต่างกัน (ALD โดยทั่วไปมีตั้งแต่ 10⁻³ ถึง 10⁻⁵ Pa ในขณะที่ CVD มักจะทำงานที่ 0.1 ถึง 0.5 MPa) ซึ่งจำเป็นต้องใช้วิธีการเชื่อมต่อที่เข้ากันได้กับพิกัดแรงดัน
· แรงดันต่ำ (≤0.3 MPa): การเชื่อมต่อแบบเฟอร์รูลคู่
· แรงดันสูง (≥0.5 MPa): การเชื่อม TIG อัตโนมัติ
· สุญญากาศสูงพิเศษ (≤1e-4 Pa): หน้าแปลนแบบซีลโลหะ
สมดุลไดนามิกของแรงดัน
การจ่ายก๊าซแบบพัลส์ในกระบวนการ ALD ทำให้เกิดความผันผวนของแรงดันในท่อ หากความผันผวนเกิน ±0.02 MPa ความเสถียรของความเข้มข้นของสารตั้งต้นจะลดลง ด้วยการปรับตัวควบคุมแรงดันต้นน้ำ เราควบคุมความผันผวนของแรงดันทางเข้าให้อยู่ที่ ±0.005 MPa เมื่อรวมกับการควบคุมข้อเสนอแนะแบบเรียลไทม์จากเซ็นเซอร์แรงดันความแม่นยำสูงที่มีความแม่นยำ ±0.1% FS ในที่สุดเราก็บรรลุความผันผวนของแรงดันในท่อ ≤±0.003 MPa ทำให้มั่นใจได้ถึงความเข้มข้นของพัลส์ ALD ที่สม่ำเสมอ
อุปกรณ์ก๊าซพิเศษต้องเปลี่ยนจากการ “ทำงานแบบแยกส่วน” ไปสู่ “การบูรณาการอย่างลึกซึ้งกับกระบวนการ”
กระบวนการ CVD โดยทั่วไปต้องใช้ก๊าซ 2-4 ชนิดผสมในสัดส่วนคงที่ ดังนั้น เราจึงใช้อุปกรณ์ควบคุมการไหลของมวลความแม่นยำสูงระดับสากล (MFCs) ที่มีความแม่นยำในการวัด ±0.05% FS ทำให้มั่นใจได้ถึงความเสถียรและความน่าเชื่อถือเป็นพิเศษในการควบคุมการไหลของของเหลว พร้อมด้วยอัลกอริธึมการผสมที่เป็นกรรมสิทธิ์ของเรา ตัวควบคุมเหล่านี้จะตรวจสอบและชดเชยผลกระทบของอุณหภูมิก๊าซและความผันผวนของแรงดันต่อพารามิเตอร์การไหลอย่างต่อเนื่อง
ก๊าซไอเสียที่เกิดจากกระบวนการ CVD ต้องเป็นไปตามมาตรฐานการปล่อยมลพิษ เราใช้ระบบบำบัดก๊าซไอเสียแบบบูรณาการ
ขั้นตอนการดูดซับแบบแห้ง: พร้อมกับสารดูดซับพิเศษที่คัดสรรมาอย่างดี ระบบการดูดซับหลายขั้นตอนนี้ให้ประสิทธิภาพการดูดซับสูงพิเศษ ≥99.9% ขั้นตอนการเผา: สำหรับสารประกอบอินทรีย์ที่ซับซ้อนและย่อยสลายยาก จะมีการสร้างสภาพแวดล้อมการไพโรไลซิสที่อุณหภูมิสูง เมื่อรวมกับเทคโนโลยีการเพิ่มประสิทธิภาพการเผาไหม้แบบปั่นป่วน สิ่งนี้จะทำให้ได้อัตราการสลายตัวลึก ≥99.99% ขจัดความเสี่ยงของสารมลพิษอินทรีย์อย่างสมบูรณ์
ระบบ “ตู้ก๊าซพิเศษ + ท่อ + อุปกรณ์” แบบบูรณาการ
เพื่อลดจุดเชื่อมต่อและลดความเสี่ยงในการรั่วไหล เรามีโซลูชันแบบบูรณาการ ตั้งแต่การออกแบบตู้ก๊าซพิเศษ (รวมถึงการทำให้บริสุทธิ์ การกระจาย และการควบคุมความปลอดภัย) ไปจนถึงการเชื่อมท่อและการบูรณาการอุปกรณ์บำบัดก๊าซไอเสีย กระบวนการทั้งหมดดำเนินการอย่างมืออาชีพโดยทีมงานเดียว
การใช้สมาคมเป็นสะพานเพื่อพัฒนาเทคโนโลยีอุตสาหกรรม
การประชุมเรื่อง “นวัตกรรมในเทคโนโลยีการเคลือบสุญญากาศและวิศวกรรมพื้นผิว” นี้ไม่เพียงแต่ทำหน้าที่เป็นแพลตฟอร์มสำหรับการแลกเปลี่ยนเทคโนโลยีทั่วทั้งอุตสาหกรรมเท่านั้น แต่ยังเป็นตัวอย่างของความมุ่งมั่นของ Wofei Technology ในการกระชับความสัมพันธ์ในอุตสาหกรรมและส่งเสริม “การผลิตที่ขับเคลื่อนด้วยเทคโนโลยี”
ก้าวต่อไป เราจะยังคงใช้สมาคมอุตสาหกรรมเทคโนโลยีสุญญากาศเป็นสะพาน โดยมุ่งเน้นไปที่ข้อกำหนดในการควบคุมของเหลวสำหรับกระบวนการหลัก เช่น ALD/CVD เรามีเป้าหมายที่จะขับเคลื่อนการนำนวัตกรรมทางเทคโนโลยีมาใช้มากขึ้น ผลักดันเทคโนโลยีการเคลือบสุญญากาศและวิศวกรรมพื้นผิวไปสู่อีกยุคหนึ่งของความแม่นยำที่สูงขึ้นและความปลอดภัยที่เพิ่มขึ้น!
