การออกแบบระบบสําหรับก๊าซที่ใช้ในการผลิตครึ่งตัวนํา

เมื่อตลาดครึ่งตัวนํากําลังเติบโต มาตรฐานความบริสุทธิ์และความแม่นยําจะเข้มข้นมากขึ้นหนึ่งในปัจจัยที่กําหนดคุณภาพของการผลิตครึ่งตัวนําคือก๊าซที่ใช้ในกระบวนการก๊าซเหล่านี้มีบทบาทมากมายในกระบวนการผลิต รวมถึง:

การควบคุมกระบวนการแม่นยํา

การป้องกันการติดเชื้อ

การเสริมคุณสมบัติโลหะ

เพื่อที่จะดําเนินหน้าที่เหล่านี้อย่างมีประสิทธิภาพ ระบบจําหน่ายและจัดจําหน่ายก๊าซต้องมีประสิทธิภาพการออกแบบระบบการจัดการแก๊สที่ใช้ในการผลิตครึ่งตัวนํา ต้องมีส่วนประกอบที่แข็งแกร่งและการประกอบที่กําหนดเอง เพื่อให้การผลิตครึ่งตัวนําที่น่าเชื่อถือและมีคุณภาพสูง.

ก๊าซที่ใช้ในการผลิตครึ่งประสาท

กระบวนการผลิตครึ่งตัวนํา ต้องการการใช้ก๊าซที่แตกต่างกันในขั้นตอนที่แตกต่างกันของกระบวนการ

ขณะที่ก๊าซทั่วไป เช่น ไนโตรเจน ไฮโดรเจน อาร์กอน และเฮลียัม สามารถใช้ได้ในรูปแบบบริสุทธิ์ของพวกมัน แต่กระบวนการบางกระบวนการอาจต้องการผสมพิเศษไฮโลไฮลอยด์และไฮโดรคาร์บอน เป็นก๊าซพิเศษบางชนิดที่ใช้ในการผลิตครึ่งตัวนําก๊าซหลายชนิดนี้อาจเป็นอันตรายหรือมีปฏิกิริยาสูง สร้างปัญหาในการเลือกและออกแบบส่วนประกอบสําหรับระบบก๊าซ

นี่คือตัวอย่างบางอย่าง:

ไฮโดรเจนและฮีเลียมสามารถรั่วไหลได้ง่ายจากระบบท่อและเครื่องติดตั้ง เนื่องจากขนาดและน้ําหนักอะตอมที่เล็ก

Silanes มีความเผาไหม้สูงและสามารถเผาไหม้เอง (เผาไหม้เอง) ในอากาศ

ไนโตรเจน ดิฟลอรได ที่ใช้ในระยะการฝัง, การถักและการทําความสะอาดห้อง จะกลายเป็นก๊าซเรือนกระจกที่แข็งแรงเมื่อรั่วไหลไปสู่สิ่งแวดล้อม

ไฮโดรเจนฟลอไรด์ (ก๊าซกัด) เป็นก๊าซที่รังเกียจต่อท่อโลหะมาก

ทรีเมธีลแกลลียัมและอะโมเนียกอาจยากที่จะจัดการ - ความเปลี่ยนแปลงเล็ก ๆ ในอุณหภูมิและความดันที่ต้องการของพวกเขาสามารถส่งผลต่อกระบวนการฝัง

การควบคุมสภาพกระบวนการเพื่อลดผลกระทบทางลบของก๊าซเหล่านี้ให้น้อยที่สุด ต้องเป็นความสําคัญสูงสุดระหว่างการออกแบบระบบมันสําคัญเท่ากันที่จะใช้ส่วนประกอบที่มีคุณภาพสูงสุด เช่น AFK วาล์ว diaphragm ระหว่างกระบวนการสร้าง.

การแก้ไขความท้าทายในการออกแบบระบบ

ก๊าซประเภทครึ่งตัวนําในกรณีส่วนใหญ่มีความบริสุทธิ์สูงและให้บริการสภาพอ่อนแอหรือเสริมปฏิกิริยาในช่วงที่แตกต่างกันของกระบวนการผลิต เช่น ก๊าซ etch และก๊าซฝากการรั่วไหลหรือปนเปื้อนของก๊าซดังกล่าวอาจมีผลร้ายดังนั้น it is critical for the system components used to be hermetically sealed and corrosion resistant as well as have a smooth surface finish (electrolytic polishing) to ensure that there is no possibility of contamination and that an extremely high level of cleanliness can be maintained.

นอกจากนี้ บางส่วนของก๊าซเหล่านี้สามารถถูกทําความร้อนหรือทําความเย็นเพื่อบรรลุสภาพกระบวนการที่ต้องการที่มีความสําคัญต่อการทํางานอย่างมีประสิทธิภาพของผลิตภัณฑ์สุดท้าย.

ตั้งแต่จุดเข้าของแหล่งถึงจุดใช้งาน สายพันธุ์ส่วนประกอบที่หลากหลายของ AFK สามารถรองรับความบริสุทธิ์สูงสุดการควบคุมความดันและการไหลผ่านที่จําเป็นในห้องสะอาดและห้องว่างสําหรับครึ่งนํา.

ระบบที่ออกแบบด้วยองค์ประกอบที่มีคุณภาพในโรงงานครึ่งนํา

บทบาทขององค์ประกอบที่มีคุณภาพและการปรับปรุงการออกแบบมีความสําคัญต่อการควบคุมที่แม่นยําและการผลิตครึ่งประสาทอย่างปลอดภัยส่วนประกอบที่ใช้ต้องแข็งแกร่งและไม่รั่วไหล เพื่อตรงกับสภาพกระบวนการที่แตกต่างกันที่ต้องการในระยะการผลิตที่แตกต่างกันวาล์ว คุณภาพสูงของ AFK อะไหล่, ปรับ, ระบบควบคุม, ท่อ, และการปรับประปา

ความบริสุทธิ์สูงสุด

ปริมณฑลที่ไม่หลุด

การกันความร้อน

การควบคุมความดัน

ความต้านทานต่อการกัดกรอง

การบําบัดการเคลือบไฟฟ้า