กล่องกระจายกระจายวัลล์ว VMB ของเทคโนโลยี Wofly สําหรับแอปพลิเคชั่นไซเลน

กล่องกระจายชุดวาล์ว VMB สำหรับไซเลน

การรับประกันแบบคู่ด้านความปลอดภัยและความแม่นยำในการกระจายก๊าซพิเศษที่มีความเสี่ยงสูง

01 ฟังก์ชั่นหลัก

การกระจายหลายเส้นทางจากแหล่งเดียว การควบคุมสาขาอิสระ

อุปกรณ์นี้สามารถแยกการจ่ายก๊าซไซเลนเดี่ยวจากตู้เก็บก๊าซพิเศษขั้นต้นน้ำออกเป็นสาขาจ่ายก๊าซอิสระหลายสาขา จ่ายก๊าซไปยังหลายหน่วยกระบวนการไปพร้อมๆ กัน และรองรับการปรับแต่งสาขาได้ตามต้องการ แต่ละสาขามีวาล์วเปิด/ปิดอิสระและยูนิตตรวจสอบแรงดัน ช่วยให้สามารถควบคุมการไหลของก๊าซและการปิดระบบเพื่อการบำรุงรักษาแยกกัน การบำรุงรักษาในสาขาเดียวไม่รบกวนการจ่ายก๊าซตามปกติไปยังสาขาอื่นๆ ซึ่งช่วยลดความเสี่ยงของการหยุดทำงานของสายการผลิตให้เหลือน้อยที่สุด

การไล่อากาศแบบเฉื่อยและการเปลี่ยนสูญญากาศเพื่อความปลอดภัยในการปฏิบัติงาน

ระบบมีท่อกำจัดไนโตรเจนความบริสุทธิ์สูง (PN₂) และท่อสกัดสุญญากาศในตัว ก่อนที่จะมีการบำรุงรักษาสาขา การเริ่มต้นหรือปิดอุปกรณ์ หรือการถอดชิ้นส่วนและประกอบท่ออีกครั้ง ไปป์ไลน์เป้าหมายสามารถผ่านการไล่ก๊าซเฉื่อยและการเปลี่ยนสูญญากาศแบบเต็มกระบวนการ โดยไล่ก๊าซไซเลนที่ตกค้างออกจากท่ออย่างทั่วถึง และป้องกันการเผาไหม้ที่เกิดขึ้นเองที่เกิดจากไซเลนสัมผัสกับอากาศหลังจากเปิดวาล์ว ซึ่งเป็นไปตามข้อกำหนดการปฏิบัติงานด้านความปลอดภัยสำหรับระบบไซเลนที่ระบุไว้ในมาตรฐานทางเทคนิคทางวิศวกรรมสำหรับระบบแก๊สพิเศษโดยสมบูรณ์

ท่อสแตนเลสเกรด 316LEP

การตรวจสอบแรงดันแบบเรียลไทม์และการแจ้งเตือนการเชื่อมต่อสภาวะผิดปกติ

แต่ละสายการผลิตมีเกจวัดความดันและเซ็นเซอร์ความดันที่มีความแม่นยำสูง ซึ่งจะแสดงสภาวะแรงดันแบบเรียลไทม์ที่ทางเข้าและทางออก และรองรับการกำหนดค่าการแจ้งเตือนขีดจำกัดแรงดันบนและล่าง เมื่อใช้ร่วมกับวาล์วปิดฉุกเฉินแบบนิวแมติก ระบบสามารถตัดท่อแยกที่เกี่ยวข้องได้อย่างรวดเร็ว หรือแม้แต่ท่อจ่ายก๊าซหลัก เมื่อตรวจพบความเสี่ยง เช่น แรงดันผิดปกติหรือการรั่วไหลของก๊าซ โดยจะส่งสัญญาณเตือนภัยทั้งด้วยเสียงและภาพ และทำงานร่วมกับระบบควบคุมส่วนกลางของโรงงานเพื่อให้ได้รับการตอบสนองฉุกเฉินในระดับมิลลิวินาที

การป้องกันแบบปิดผนึกแรงดันลบ, การควบคุมการรั่วไหลจากส่วนกลาง

ระบบใช้โครงสร้างตู้แบบปิดสนิท โดยมีพอร์ตไอเสียด้านบนและตะแกรงไอดีด้านล่าง เพื่อรักษาแรงดันลบให้คงที่ภายในตู้ระหว่างการทำงาน แม้ในกรณีที่มีรอยรั่ว ก๊าซไซเลนจะถูกจำกัดอยู่ภายในตู้และสกัดจากส่วนกลางผ่านระบบไอเสียไปยังหน่วยบำบัดก๊าซไอเสีย เพื่อป้องกันไม่ให้ก๊าซที่รั่วไหลแพร่กระจายไปยังโรงปฏิบัติงานการผลิต และลดความเสี่ยงของการเผาไหม้ที่เกิดขึ้นเองและการเป็นพิษในระดับพื้นที่

02 คุณสมบัติหลัก

การออกแบบด้านความปลอดภัยสำหรับก๊าซที่มีความเสี่ยงสูงโดยเฉพาะ

ได้รับการปรับให้เหมาะสมเป็นพิเศษสำหรับการจุดระเบิดได้เองและคุณสมบัติการระเบิดของไซเลน โดยสามารถติดตั้งเครื่องตรวจจับก๊าซไซเลนและอุปกรณ์ตรวจจับเปลวไฟในตัวได้ ส่วนประกอบทางไฟฟ้าทั้งหมดมีคุณสมบัติตรงตามข้อกำหนดการป้องกันการระเบิด และกลไกการเชื่อมต่อเพื่อความปลอดภัยแบบหลายชั้นเป็นไปตามมาตรฐานการควบคุมสำหรับก๊าซชนิดพิเศษที่มีความเสี่ยงสูง ซึ่งเกินระดับความปลอดภัยของ VMB ก๊าซเฉื่อยมาตรฐานอย่างมาก

การจ่ายก๊าซความบริสุทธิ์สูงเกรดอิเล็กทรอนิกส์

ส่วนประกอบที่ไหลผ่านทั้งหมดทำจากสเตนเลสเกรด SS316L EP พร้อมพื้นผิวด้านในขัดเงาด้วยไฟฟ้า การวางท่อถูกสร้างขึ้นโดยใช้กระบวนการเชื่อมแบบอัตโนมัติเต็มรูปแบบ ทำให้มั่นใจได้ว่าไม่มีมุมตายและไม่มีการปล่อยอนุภาค วาล์วผ่านการทดสอบการรั่วของฮีเลียมด้วยอัตราการรั่วไหลที่ ≤1×10⁻⁹ atm・cc/s รับประกันว่าความบริสุทธิ์ของก๊าซไซเลนยังคงไม่ลดลงตลอดกระบวนการ และเป็นไปตามข้อกำหนดของกระบวนการผลิตที่มีความแม่นยำสูง

การออกแบบตั้งพื้นให้ความสามารถในการปรับตัวที่เหนือกว่า

การออกแบบโครงยึดแบบตั้งพื้นช่วยเพิ่มความสามารถในการรับน้ำหนัก และลดความจำเป็นในการติดตั้งแบบติดผนัง สามารถวางตำแหน่งได้อย่างยืดหยุ่นในสภาพแวดล้อมต่างๆ เช่น รอบห้องปลอดเชื้อหรือตามทางเดินก๊าซแบบพิเศษ ทำให้สามารถปรับให้เข้ากับรูปแบบสายการผลิตที่ซับซ้อนได้ดีกว่าเมื่อเปรียบเทียบกับ VMB แบบติดผนัง

วาล์วภายใน VMB / วาล์วไดอะแฟรม / เกจวัดแรงดัน

03 สถานการณ์การใช้งานหลัก

การผลิตเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์

เข้ากันได้กับกระบวนการสะสมของฟิล์มบาง เช่น PECVD, LPCVD และ ALD ในสายการผลิตแผ่นเวเฟอร์ ระบบนี้กระจายก๊าซไซเลนไปยังอุปกรณ์เคลือบต่างๆ ได้อย่างแม่นยำ เพื่อให้มั่นใจถึงความเสถียรของกระบวนการสำหรับการสะสมของฟิล์มซิลิคอนไนไตรด์และซิลิคอนออกไซด์ นอกจากนี้ยังเป็นไปตามข้อกำหนดการควบคุมความปลอดภัยสำหรับก๊าซที่มีความเสี่ยงสูงในห้องปลอดเชื้อ ทำให้เป็นการกำหนดค่ามาตรฐานสำหรับการกระจายก๊าซชนิดพิเศษขั้นที่สองในโรงงานผลิตแผ่นเวเฟอร์

การผลิตเซลล์แสงอาทิตย์

ใช้กันอย่างแพร่หลายในสายการผลิตเซลล์ที่มีประสิทธิภาพสูง เช่น TOPCon, HJT และจุดเชื่อมต่อเฮเทอโรอิคชัน ระบบนี้ช่วยให้สามารถกระจายก๊าซไซเลนไปยังเครื่องจักรหลายเครื่องในระหว่างกระบวนการสะสมและเติมฟิล์มบางที่ใช้ซิลิคอน ตอบสนองความต้องการในการจัดหาก๊าซอย่างต่อเนื่องของสายการผลิตเซลล์แสงอาทิตย์ที่มีกำลังการผลิตสูง ในขณะเดียวกันก็ให้ความยืดหยุ่นในการปรับปรุงและขยายสายการผลิต ซึ่งช่วยลดต้นทุนและปรับปรุงประสิทธิภาพ

- วีเอ็มบี -

จอแสดงผลยุคถัดไปและการผลิตออปโตอิเล็กทรอนิกส์

ให้บริการสายการผลิตแผงจอแสดงผล TFT-LCD, AMOLED และ Mini/Micro LED รวมถึงสาขาต่างๆ เช่น พรีฟอร์มใยแก้วนำแสงและเซมิคอนดักเตอร์แบบผสม เราจัดให้มีการจ่ายและจัดส่งไซเลนที่เสถียรและควบคุมได้สำหรับกระบวนการสะสมและกัดฟิล์มบาง ซึ่งปรับให้เหมาะกับรูปแบบการจ่ายก๊าซแบบหลายเครื่องจักรขนาดใหญ่ของสายการผลิตระดับสูง

สถาบันวิจัยและห้องปฏิบัติการทดสอบ

นำเสนอโซลูชันการกระจายไซเลนขนาดเล็กสำหรับการวิจัยและพัฒนาวัสดุและแพลตฟอร์มการตรวจสอบกระบวนการในห้องปฏิบัติการของมหาวิทยาลัยและสถาบันวิจัย สร้างสมดุลระหว่างความปลอดภัยในการปฏิบัติงานกับความแม่นยำในการจ่ายก๊าซ เพื่อตอบสนองความต้องการของการใช้งานก๊าซทดลองหลายสภาวะชุดเล็ก

ข้อดีของ โว้ยผลิตภัณฑ์และบริการของเทคโนโลยี

1. การวิจัยและพัฒนาและการผลิตภายในองค์กร พร้อมความสามารถในการปรับแต่งที่โดดเด่น

ในฐานะองค์กรเทคโนโลยีขั้นสูงระดับชาติและองค์กร "เฉพาะทาง การกลั่นกรอง โดดเด่น และนวัตกรรม" Wofly Technology มีความสามารถในการวิจัยและพัฒนาและการผลิตที่เป็นอิสระ บริษัทได้สร้างฐานการผลิตของตนเองบนพื้นที่ 8,000 ตารางเมตร พร้อมด้วยโรงงานประกอบห้องคลีนรูมคลาส 100 และคลาส 1,000 กระบวนการผลิตทั้งหมดสำหรับซีรีส์ผลิตภัณฑ์ VMB เต็มรูปแบบ ตั้งแต่การออกแบบโซลูชันและการประกอบวาล์ว ไปจนถึงการทดสอบและการจัดส่ง เสร็จสมบูรณ์ภายในบริษัท ผลิตภัณฑ์สามารถปรับแต่งได้อย่างเต็มที่เพื่อตอบสนองความต้องการเฉพาะของลูกค้าเกี่ยวกับจำนวนช่องจ่ายก๊าซ พารามิเตอร์ความดัน โหมดการควบคุม และสถานการณ์การติดตั้ง เพื่อรองรับความต้องการของสายการผลิตในอุตสาหกรรมต่างๆ และขนาดที่แตกต่างกัน

มุมมองภายในของ VMB ออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับไซเลน

2. คุณสมบัติครบถ้วนและการปฏิบัติตามการรับประกัน

บริษัทมีคุณสมบัติการทำสัญญาเฉพาะทางสำหรับโครงการติดตั้งเครื่องกลและไฟฟ้า, คุณสมบัติ GC2 สำหรับการออกแบบและติดตั้งท่อแรงดัน และใบอนุญาตความปลอดภัยในการทำงาน ผลิตภัณฑ์ของเราได้รับการรับรองหลายรายการ รวมถึง CE และ ISO 9001 การออกแบบและการผลิตยึดถือมาตรฐานแห่งชาติสำหรับวิศวกรรมก๊าซพิเศษ เช่น GB 50646 อย่างเคร่งครัด อุปกรณ์ทั้งหมดผ่านการทดสอบการรั่วของฮีเลียมอย่างครอบคลุมและการทดสอบการทำงานก่อนออกจากโรงงาน เพื่อให้มั่นใจว่าอุปกรณ์จะพร้อมสำหรับการปฏิบัติงานตามข้อกำหนดเมื่อส่งมอบ

ทัวร์ของโว้ยห้องคลีนรูมคลาส 1,000 ของเทคโนโลยี

3. บริการแบบครบวงจรทั่วทั้งห่วงโซ่อุตสาหกรรม

นอกเหนือจากการจัดหาอุปกรณ์ธรรมดาๆ แล้ว Wofly Technology ยังมอบโซลูชันครบวงจรแบบครบวงจรที่ครอบคลุมกระบวนการทั้งหมด ตั้งแต่การวางแผนปั๊มน้ำมันแบบพิเศษ การติดตั้งท่อส่งหลัก และโครงร่างโหนดการกระจาย VMB ไปจนถึงการวางท่อรองที่จุดสิ้นสุด โซลูชันนี้ครอบคลุมวงจรชีวิตทั้งหมด รวมถึงการให้คำปรึกษาด้านเทคนิค การออกแบบระบบ การผลิตและการติดตั้งเบื้องต้น การทดสอบและการยอมรับ และการฝึกอบรมการปฏิบัติงานและการบำรุงรักษา ลูกค้าไม่จำเป็นต้องประสานงานกับซัพพลายเออร์หลายราย ซึ่งช่วยลดต้นทุนการสื่อสารและการจัดการโครงการได้อย่างมาก

มุมมองภายในของ VMB ออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับไซเลน

4. กว่าทศวรรษของความเชี่ยวชาญในอุตสาหกรรมและประสบการณ์การใช้งานที่กว้างขวาง

ด้วยความเชี่ยวชาญเชิงลึกกว่าทศวรรษในด้านก๊าซชนิดพิเศษสำหรับอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ บริการของเราครอบคลุมหลายภาคส่วน รวมถึงเซมิคอนดักเตอร์ เซลล์แสงอาทิตย์ ชีวเภสัชภัณฑ์ และสถาบันวิจัย เราประสบความสำเร็จในการดำเนินโครงการวิศวกรรมระบบก๊าซพิเศษหลายร้อยโครงการ ทีมงานหลักของเรามีประสบการณ์อย่างกว้างขวางในการออกแบบและก่อสร้างระบบก๊าซชนิดพิเศษที่มีความเสี่ยงสูง ทำให้เราสามารถตอบสนองความต้องการของลูกค้าได้อย่างรวดเร็ว และมอบโซลูชั่นที่เหมาะสมที่สุดที่เหมาะกับสภาพการทำงานจริง

โว้ยVMB ของเทคโนโลยีและตู้โชว์ตู้แก๊สชนิดพิเศษ

ในฐานะ "ศูนย์กลางจุดสิ้นสุด" ของระบบก๊าซชนิดพิเศษแบบอิเล็กทรอนิกส์ VMB เฉพาะไซเลนจึงเป็นองค์ประกอบสำคัญในการรับประกันการจ่ายก๊าซที่ปลอดภัย เสถียร และมีความบริสุทธิ์สูงไปยังสายการผลิต Wofly Technology จะยังคงให้ความสำคัญกับเทคโนโลยีต่อไป โดยเพิ่มประสิทธิภาพผลิตภัณฑ์ของตนให้เหมาะสมสำหรับสภาวะการทำงานของก๊าซชนิดพิเศษที่มีความเสี่ยงสูงต่างๆ เพื่อให้อุตสาหกรรมการผลิตระดับสูงได้รับโซลูชันระบบก๊าซชนิดพิเศษที่เชื่อถือได้และปรับแต่งมาโดยเฉพาะมากขึ้น