WOFLY เปิดตัวกล่องท่อร่วมวาล์วไซเลนความปลอดภัยสูง (VMB) เพื่อเสริมศักยภาพการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และ PV

บริษัท เซินเจิ้น Wofly Technology Co., Ltd. (WOFLY) ผู้ให้บริการระบบส่งก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษชั้นนำ ได้เปิดตัว Silane Valve Manifold Box (VMB) เฉพาะทางอย่างเป็นทางการ ได้รับการออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับการจำหน่ายก๊าซชนิดพิเศษที่เป็นอันตราย ระบบใหม่นี้ให้การรับประกันแบบคู่ในด้านความปลอดภัยและความแม่นยำสำหรับกระบวนการที่สำคัญต่อภารกิจในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ เซลล์แสงอาทิตย์ และออปโตอิเล็กทรอนิกส์

ไซเลน (SiH₄) เป็นรากฐานสำคัญของการผลิตอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์สมัยใหม่ แต่มีความเสี่ยงสูงเนื่องจากลักษณะของสารที่ลุกติดไฟได้เองและระเบิดได้ ซีรี่ส์ VMB ใหม่ของ WOFLY จัดการกับความท้าทายเหล่านี้ผ่านการผสมผสานระหว่างนวัตกรรมเชิงโครงสร้างและการควบคุมความปลอดภัยอัจฉริยะ

การกระจายขั้นสูงและการควบคุมอิสระ

WOFLY VMB ได้รับการออกแบบมาเพื่อแยกแหล่งก๊าซต้นน้ำแหล่งเดียวออกเป็นสาขาการจัดจำหน่ายอิสระหลายสาขา โดยจ่ายก๊าซให้กับเครื่องมือในกระบวนการต่างๆ พร้อมกัน แต่ละสาขามีวาล์วปิดแยกอิสระและยูนิตตรวจสอบแรงดัน ช่วยให้แยกการบำรุงรักษาและการแก้ไขปัญหาได้โดยไม่รบกวนการทำงานของสายการผลิตอื่น

คุณสมบัติด้านความปลอดภัยหลักและความเป็นเลิศทางเทคนิค

1. ระบบกำจัดและกำจัดเฉื่อย

ติดตั้งท่อกำจัดและสุญญากาศไนโตรเจน (PN2) ที่มีความบริสุทธิ์สูงในตัว ช่วยให้มั่นใจได้ถึงการกำจัดไซเลนที่ตกค้างออกอย่างละเอียดก่อนการบำรุงรักษาหรือการเปลี่ยนอุปกรณ์ โดยปฏิบัติตามมาตรฐานความปลอดภัยอย่างเคร่งครัดเพื่อป้องกันการเผาไหม้ที่เกิดขึ้นเองเมื่อสัมผัสกับอากาศ

2. การตรวจสอบแบบเรียลไทม์และสัญญาณเตือนลูกโซ่

เซ็นเซอร์และเกจวัดความดันความแม่นยำสูงในตัวให้การตอบสนองระดับมิลลิวินาที ระบบเชื่อมโยงกับวาล์วปิดฉุกเฉินแบบนิวแมติกและศูนย์ควบคุมสิ่งอำนวยความสะดวก ซึ่งจะกระตุ้นการแยกทันทีหากตรวจพบความผิดปกติของแรงดันหรือการรั่วไหล

3. สิ่งที่แนบมาด้วยแรงดันลบ

ตู้สเตนเลสสตีล 316L แบบปิดทั้งหมดจะรักษาแรงดันลบให้คงที่ รอยรั่วใดๆ จะถูกจำกัดและสกัดอย่างปลอดภัยผ่านระบบไอเสียแบบรวมศูนย์ไปยังหน่วยลดก๊าซ ซึ่งจะช่วยลดความเสี่ยงต่อสภาพแวดล้อมในโรงงาน

4. ความบริสุทธิ์เกรดอิเล็กทรอนิกส์

ส่วนประกอบที่เปียกทั้งหมดทำจากสเตนเลสเกรด SS316L EP (ขัดเงาด้วยไฟฟ้า) ด้วยการใช้การเชื่อมแบบวงโคจรอัตโนมัติ ระบบจึงรับประกันสภาพแวดล้อมที่สะอาด ปราศจากอนุภาค โดยมีอัตราการรั่วไหลของฮีเลียม ≤ 1×10⁻⁹ atm·cc/s โดยรักษาความสมบูรณ์ของก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูง

การใช้งานในอุตสาหกรรมที่หลากหลาย

ความคล่องตัวและการออกแบบที่แข็งแกร่งของ WOFLY Silane VMB ทำให้เป็นการกำหนดค่ามาตรฐานสำหรับ:

- เซมิคอนดักเตอร์เวเฟอร์ Fab:จำเป็นสำหรับกระบวนการสะสมฟิล์มบาง เช่น PECVD, LPCVD และ ALD

- การผลิตเซลล์แสงอาทิตย์:ใช้กันอย่างแพร่หลายในสายเซลล์ประสิทธิภาพสูง เช่น TOPCon และ HJT สำหรับการสะสมฟิล์มที่มีซิลิคอน

- การผลิตจอแสดงผลขั้นสูง:รองรับการผลิต TFT-LCD, AMOLED และ Mini/Micro LED

- การวิจัยและห้องปฏิบัติการ:ให้การกระจายสินค้าขนาดเล็กและแม่นยำสำหรับการวิจัยและพัฒนาวัสดุและการตรวจสอบกระบวนการ

"ความปลอดภัยและความบริสุทธิ์ไม่สามารถต่อรองได้ในการจัดการก๊าซชนิดพิเศษ" ผู้อำนวยการฝ่ายเทคนิคของ WOFLY กล่าว “Silane VMB ใหม่ของเราไม่ได้เป็นเพียงกล่องกระจายสินค้าเท่านั้น แต่ยังเป็นเกราะป้องกันความปลอดภัยที่ครอบคลุมซึ่งช่วยให้ลูกค้าของเราขยายขนาดการผลิตได้อย่างมั่นใจ”

สำหรับรายละเอียดเพิ่มเติมเกี่ยวกับ Silane VMB หรือต้องการดูโซลูชันการจัดการก๊าซทั้งหมดของเรา โปรดเยี่ยมชมเว็บไซต์ของเราที่www.szwofly.comหรือติดต่อเราที่ info@szwofly.com

เกี่ยวกับ WOFLY

เซินเจิ้น Wofly Technology Co., Ltd. (AFK/WOFLY) เป็นผู้ผลิตและบริษัทวิศวกรรมเฉพาะทางที่มุ่งเน้นระบบจัดส่งก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูง ด้วยความเชี่ยวชาญกว่าทศวรรษ WOFLY ให้บริการแก่อุตสาหกรรมเทคโนโลยีขั้นสูงระดับโลกด้วยหน่วยงานกำกับดูแลที่มีความแม่นยำสูง VMB ตู้เก็บแก๊ส และโซลูชันการวางท่อแบบรวม